ALD氧化铝薄膜介电性能及其在硅电容器的应用

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.91 MB
资源类别： 电子
关键词： 薄膜   性能   及其   应用   氧化铝
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

ALD氧化铝薄膜介电性能及其在硅电容器的应用
相关推荐