NAND﹢Flash浮栅干法蚀刻工艺优化解决数据写入失效

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资源类别： 电子
关键词： 蚀刻   失效   工艺   优化   数据
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NAND﹢Flash浮栅干法蚀刻工艺优化解决数据写入失效
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