氮流量对热丝制备富硅-氮化硅薄膜的结构及性质影响

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资源类别： 电子
关键词： 制备   薄膜   流量   性质   氮化
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氮流量对热丝制备富硅-氮化硅薄膜的结构及性质影响
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