PVT方法下AlN烧结工艺坩埚盖处氧杂质沉积行为研究

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资源类别： 电子
关键词： 坩埚   杂质   沉积   工艺   烧结
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PVT方法下AlN烧结工艺坩埚盖处氧杂质沉积行为研究
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