氮氩流量比对磁控溅射Zn3N2薄膜微观结构的影响

文件格式： PDF文档
文件大小： 2.06 MB
资源类别： 电子
关键词： 薄膜   流量   微观   磁控溅射   结构
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

氮氩流量比对磁控溅射Zn3N2薄膜微观结构的影响
相关推荐