湿法腐蚀和干法刻蚀工艺对850nm VCSEL高速调制性能的影响

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资源类别： 电子
关键词： 调制   腐蚀   性能   高速   工艺
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湿法腐蚀和干法刻蚀工艺对850nm VCSEL高速调制性能的影响
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