Al2O3沉积功率对共溅射Al-Zn-Sn-O薄膜晶体管性能的影响

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资源类别： 电子
关键词： 沉积   功率   性能   薄膜晶体管   影响
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Al2O3沉积功率对共溅射Al-Zn-Sn-O薄膜晶体管性能的影响
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