一种利用夹层Ta难熔金属提高NiSi薄膜热稳定性的新方法

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资源类别： 电子
关键词： 夹层   薄膜   金属   一种   热稳定性
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一种利用夹层Ta难熔金属提高NiSi薄膜热稳定性的新方法
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