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SiC外延衬底研究现状及其应用前景

SiC外延衬底研究现状及其应用前景

资料大小 1.84 MB
文档格式 PDF文档
资料语言 简体中文
资料类别 电子
tag关键词 及其   现状   前景   应用   衬底
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