利用侧向生长机制在偏向4H-SiC衬底上生长3C-SiC

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资源类别： 电子
关键词： 偏向   生长   机制   衬底   侧向
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利用侧向生长机制在偏向4H-SiC衬底上生长3C-SiC
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