通H2合成生长单晶用高纯碳化硅粉料

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.03 MB
资源类别： 电子
关键词： 高纯   合成   生长   碳化硅   H2
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

通H2合成生长单晶用高纯碳化硅粉料
相关推荐