高纯半绝缘4H-SiC单晶衬底Si面外延石墨烯工艺研究

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资源类别： 电子
关键词： 高纯   石墨   绝缘   工艺   衬底
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高纯半绝缘4H-SiC单晶衬底Si面外延石墨烯工艺研究
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