H2稀释比对RF-PECVD制备a-Si：H-nc-Si：H薄膜的光电特性的影响

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资源类别： 电子
关键词： 稀释   制备   薄膜   特性   光电
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H2稀释比对RF-PECVD制备a-Si：H-nc-Si：H薄膜的光电特性的影响
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