MEMS穿孔板微执行器Pull-in特性分析

文件格式: PDF文档
文件大小: 800.89 KB
资源类别: 电子
关键词: 穿孔   特性   执行   分析   MEMS
进入标准下载页面
本资源下载需 1

论文简介

MEMS穿孔板微执行器Pull-in特性分析
相关推荐