一种格栅状上电极的CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器

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资源类别： 电子
关键词： 电容   电极   传感器   湿度   工艺
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一种格栅状上电极的CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器
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