不同溅射气体对a-IGZO TFT特性的影响

文件格式： PDF文档
文件大小： 655.72 KB
资源类别： 电子
关键词： 特性   气体   不同   影响   溅射
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

不同溅射气体对a-IGZO TFT特性的影响
相关推荐