射频磁控溅射法制备硼轻掺杂氢化非晶硅薄膜的研究

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资源类别： 电子
关键词： 射频   掺杂   薄膜   法制   磁控溅射
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射频磁控溅射法制备硼轻掺杂氢化非晶硅薄膜的研究
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