直流磁控溅射ZnO：Al薄膜过程中氧气浓度的研究

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资源类别： 电子
关键词： 直流   薄膜   氧气   浓度   磁控溅射
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直流磁控溅射ZnO：Al薄膜过程中氧气浓度的研究
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