采用ALD方法制备TiO2∕Al2O3布拉格反射镜并配合金属反射镜来增强背镀结构的反射效率

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资源类别： 电子
关键词： 制备   反射   金属   效率   配合
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采用ALD方法制备TiO2∕Al2O3布拉格反射镜并配合金属反射镜来增强背镀结构的反射效率
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