功率器件中影响Trench MOS栅氧生长的因素以及工艺选用对栅氧击穿电压的影响

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资源类别： 电子
关键词： 击穿   器件   功率   电压   选用
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功率器件中影响Trench MOS栅氧生长的因素以及工艺选用对栅氧击穿电压的影响
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