新型屏蔽栅-深沟槽技术在功率器件中的应用及工艺开发

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资源类别： 电子
关键词： 屏蔽   器件   功率   工艺   新型
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新型屏蔽栅-深沟槽技术在功率器件中的应用及工艺开发
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