深亚微米CMOS器件中栅氧化层的经时击穿行为(TDDB)及其机理研究

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文件大小： 2.02 MB
资源类别： 电子
关键词： 击穿   器件   氧化   及其   微米
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深亚微米CMOS器件中栅氧化层的经时击穿行为(TDDB)及其机理研究
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