湿法腐蚀制备 GaN LED 蓝宝石图形衬底的工艺方法研究

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.61 MB
资源类别： 电子
关键词： 蓝宝石   制备   图形   腐蚀   工艺
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

湿法腐蚀制备 GaN LED 蓝宝石图形衬底的工艺方法研究
相关推荐