DRIE工艺误差对MEMS梳齿谐振器频率的影响

文件格式： PDF文档
文件大小： 321.85 KB
资源类别： 电子
关键词： 误差   频率   工艺   梳齿   谐振器
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

DRIE工艺误差对MEMS梳齿谐振器频率的影响
相关推荐