气相沉积应用技术
作　者： 王福贞，马文存 编著
出版时间：2007
内容简介
　　本书在第1篇中全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析。在第2篇中介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、信息存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化和柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。本书内容丰富新颖，力求紧密联系实际。 .本书可供从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者、在校师生和工人阅读，也可以作为相关专业的参考书。 ...
目录
序1
序2
前言
第1篇 气相沉积技术基础及各种气相沉积技术
第1章 气相沉积技术概述
1 气相沉积技术分类
2 气相沉积技术特点
3 气相沉积技术应用
第2章 化学气相沉积技术
1 绪言
2 化学气相沉积物理化学基础
2.1 cvd反应方式
2.2 cvd反应条件
2.3 cvd反应过程
3 化学气相沉积热力学分析
4 化学气相沉积反应物质源
4.1气态物质源
4.2液态物质源
4.3固态物质源
5 化学气相沉积涂层质量影响因素
5.1沉积温度
5.2沉积室压力
5.3反应气体分压(配比)
6 化学气相沉积装置
6.1 cvd装置基本构成
6.2负压cvd装置主要性能简要说明
7 高温化学气相沉积技术
7.1 ht—cvdd硬质涂层种类和性能
7.2 ht—cvd工艺技术
8 中温化学气相沉积(mt—cvd)技术
8.1 mt—cvd反应机理
8.2 mt—cvd工艺过程及设备
8.3 mt—cvd沉积ticn涂层组织结构及特性
8.4高性能涂层材料及其沉积工艺技术
8.5高性能涂层硬质合金刀具组织结构及特性
参考文献
第3章 物理气相沉积技术
1 物理气相沉积技术概论
1.1物理气相沉积分类
1.2物理气相沉积的特点
2 物理气相沉积技术基础
2.1物理气相沉积相关的真空物理基础
2.2低温等离子体物理基础
3 物理气相沉积技术
3.1真空蒸发镀
3.2离子镀
3.3电子枪蒸发源二极型离子镀
3.4热阴极离子镀
3.5射频离子镀
3.6集团离子束离子镀
3.7活性反应离子镀
3.8空心阴极离子镀
3.9热丝弧枪离子镀
3.10电弧离子镀
3.11磁控溅射镀
3.12离子束及其在气相沉积方面的应用
参考文献
第4章 等离子体增强化学气相沉积技术
1 等离子体增强化学气相沉积技术机理
2 等离子气体产生过程及性质
2.1多原子分子具有平动、旋转和振动自由度
2.2分解
2.3电离
3 等离子体化学反应过程
4 等离子体增强化学气相沉积装置
5 等离子体增强化学气相沉积工艺过程及特点
5.1 pecvd 211艺过程
5.2 pecvdi艺特点
5.3采用直流脉冲pecvd技术是硬质涂层的主要发展方向
6 等离子体增强化学气相沉积涂层组织特征
6.1等离子体增强化学气相沉积涂层类型
6.2等离子体增强化学气相沉积涂层组织特征
参考文献
第5章 气相沉积设备
1 化学气相沉积设备系统
1.1 cvd涂层设备系统主要技术指标
1.2 cvd涂层设备系统各部分功能及设计要求
1.3典型生产用cvd涂层设备
2 等离子体增强低温化学气相沉积设备
2.1直流脉冲电源特性
2.2等离子体增强化学气相沉积设备
3 物理气相沉积设备及配套系统
3.1真空室
3.2真空获得与真空泵
3.3进气系统
3.4真空测量
3.5气相沉积技术中的电源
参考文献
第6章 预处理主要辅助设备
1 清洗
2 刃口强化
2.1刃口强化作用
2.2刃口强化工艺及设备
3喷砂
参考文献
第7章 膜层质量测试
1 膜层质量测试内容
2 性能检验
2.1膜层硬度测量
2.2膜层厚度测量
2.3膜层附着力测试
2.4膜层内应力测试
3 膜层的微区检测
3.1显微组织形貌分析
3.2膜层的晶体结构分析
3.3膜层成分分析
参考文献
第2篇 气相沉积技术应用领域
第1章 气相沉积技术在硬质涂层中的应用
1 硬质涂层制品在机械工业中的应用
1.1机械工业发展对涂层工具、模具性能的要求
1.2硬质涂层工具的作用
1.3涂层工模具所占市场份额
2 新型硬质涂层的发展趋势
2.1新的金属陶瓷硬质涂层
2.2多元复合涂层
2.3多层复合涂层
2.4纳米复合涂层
2.5纳米晶.非晶复合涂层
2.6非金属超硬涂层
3 硬质涂层制品应用
3.1硬质涂层切削工具的应用
3.2硬质涂层模具及耐磨损、耐腐蚀零件应用
4 不同硬质涂层的实用沉积工艺技术
4.1硬质合金刀具典型cvd实用工艺技术
4.2高速钢刀具pvd实用工艺技术
4.3模具pecvd实用工艺技术
5 非金属超硬涂层沉积技术
5.1金刚石涂层的沉积技术及应用
5.2立方氮化硼涂层的沉积技术及应用
5.3氮化碳涂层气相沉积技术及应用
5.4纳米级涂层和纳米超硬多层
复合涂层沉积技术及应用
参考文献
第2章 气相沉积技术在防护涂层方面的应用
1 防护涂层的作用
1.1防护涂层性能
1.2获得防护涂层的方法
1.3用气相沉积技术获得防护涂层的独特性
2 耐腐蚀涂层
2.1防腐涂层的种类
2.2气相沉积技术耐腐蚀层的应用领域
2.3防腐蚀层的气相沉积技术
3 热障涂层
3.1热障涂层的组成
3.2热障涂层的气相沉积技术
参考文献
第3章 气相沉积技术在光学薄膜领域中的应用
1 光学薄膜的应用领域
1.1光学薄膜的应用范围
1.2光学薄膜的功能
2 光学薄膜特性
2.1在不同媒质界面上光的反射
2.2减反膜(增透膜)
2.3反射膜
2.4截止滤光片
2.5选择吸收膜
3 光学薄膜的气相沉积技术
3.1减反膜(增透膜)的沉积工艺
3.2反射膜的沉积工艺
3.3选择吸收膜的沉积工艺
4 光学防伪薄膜
4.1防伪技术的现状与薄膜防伪技术的发展
4.2防伪膜的基本理论
4.3整膜防伪膜的设计与工艺举例
4.4碎膜防伪技术要点
参考文献
第4章 气相沉积技术在建筑镀膜玻璃方面的应用
1 建筑镀膜玻璃的功能
2 普通玻璃的光学性能
3 镀膜玻璃的遮阳隔热原理
3.1阳光控制膜
3.2低辐射率膜
3.3阳光控制膜和低辐射率膜的材料
4 智能窗玻璃
4.1智能窗玻璃的应用
4.2智能窗玻璃的种类
4.3各种智能薄膜变色的机制
4.4.智能窗玻璃薄膜的沉积工艺
5 防雾防露和自清洁玻璃.
5.1防雾防露和自清洁玻璃的功能
5.2光催化机理
5.3防雾防露和自清沽玻璃的沉积工艺
参考文献
第5章 气相沉积技术在太阳能利用领域的应用.
1 太阳能——取之不尽的能源
2 太阳能光一热转换
2.1太阳光谱选择性吸收
2.2太阳能的光.热转换能效薄膜
2.3太阳能集热器
2.4太阳光谱选择吸收薄膜的沉积技术
2.5太阳能热水器合成
3气相沉积技术在太阳能光.伏转换领域中的应用
3.1太阳能光.电转换
3.2太阳能光一电转换薄膜
3.3太阳能光一电转换薄膜的沉积技术
4太阳能电池的应用实例
参考文献
第6章气相沉积技术在集成电路制造中的应用
1 集成电路高集成化发展方向
1.1集成电路在高新技术中的应用
1.2集成电路的高集成化
2 集成电路类型
2.1集成电路
2.2分立器件电路
3 集成电路组成
3.1有源器件——包括晶体管的器件
3.2无源元件
4 集成电路加工工艺
4.1氧化工艺
4.2刻蚀.光刻工艺
4.3掺杂.离子注入
4.4互连布线的沉积和刻蚀
5分立器件电路的加工
5.1薄膜电阻器
5.2薄膜电容器
5.3薄膜网络器件
5.4薄膜温度传感器
5.5薄膜气敏传感器
5.6高温超导薄膜
5.7发光器件
参考文献
第7章 气相沉积技术在信息显示器件中的应用
1 信息显示器件的应用
2 信息显示器件的种类
2.1阴极射线管(crt)
2.2平板显示器
3 平板显示器件用薄膜
3.1各种平板显示器的工作原理及相关薄膜
3.2平板显示器薄膜的气相沉积技术
参考文献
第8章 气相沉积技术在信息存储领域的应用
1 信息存储技术的进展
2 信息存储的类型与存储薄膜
2.1磁信息存储
2.2磁光信息存储
2.3全光信息存储
3 超高密度信息存储材料
3.1科学技术发展进入了纳米电子器件新时代
3.2超高密度信息存储材料
4 纳米区内电荷存储技术
参考文献
第9章 气相沉积技术在装饰饰品上的应用
1 装饰品给人们五彩缤纷的生活
1.1装饰件底材
1.2装饰薄膜种类
2 金属基材装饰膜的沉积
2.1金属基材装饰品的应用领域
2.2金属基材制件对装饰膜层的要求
2.3金属件装饰膜的沉积工艺
3 塑料件装饰膜的沉积
3.1塑料镀膜的应用领域
3.2塑料制品对装饰膜层的要求
3.3塑料制品装饰膜的真空镀膜工艺
3.4塑料镀膜中的底漆、面漆
4 真空卷绕镀膜技术
4.1真空卷绕镀膜技术应用领域
4.2真空卷绕镀膜技术的设备分类
4.3真空卷绕镀膜设备的结构特征
4.4真空蒸发卷绕镀膜设备的组成
4.5真空磁控溅射卷线镀膜设备结构
4.6泡沫塑料镀镍
参考文献