多弧-磁控溅射法制备Ti-Si-N纳米复合涂层及涂层的结构和力学性能

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资源类别：冶金

关键词：涂层复合纳米法制磁控溅射

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多弧-磁控溅射法制备Ti-Si-N纳米复合涂层及涂层的结构和力学性能

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