射频磁控溅射Si过渡层对自支撑金刚石膜形核面的影响

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资源类别： 冶金
关键词： 射频   金刚石   过渡   支撑   磁控溅射
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射频磁控溅射Si过渡层对自支撑金刚石膜形核面的影响
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