氮气含量对射频磁控溅射法制备的AlN薄膜微观结构与力学性能的影响

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资源类别：冶金

关键词：射频氮气薄膜微观含量

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氮气含量对射频磁控溅射法制备的AlN薄膜微观结构与力学性能的影响

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