磁控溅射法制备ZrMoN复合膜的显微结构和摩擦性能

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资源类别： 冶金
关键词： 复合   摩擦   性能   法制   磁控溅射
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磁控溅射法制备ZrMoN复合膜的显微结构和摩擦性能
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