Zn靶与掺铝ZnO靶共溅射制备ZnO：Al薄膜及其性能

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资源类别： 冶金
关键词： 制备   薄膜   性能   及其   Zn
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Zn靶与掺铝ZnO靶共溅射制备ZnO：Al薄膜及其性能
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