前驱体加热温度对Pt—Ir合金薄膜的成分与沉积速率的影响

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资源类别： 冶金
关键词： 前驱   薄膜   速率   合金   沉积
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前驱体加热温度对Pt—Ir合金薄膜的成分与沉积速率的影响
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