电子束蒸发与磁控溅射制备AI／PI复合薄膜的性能研究

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资源类别： 冶金
关键词： 制备   薄膜   复合   蒸发   性能
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电子束蒸发与磁控溅射制备AI／PI复合薄膜的性能研究
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