设计与制备具有放射状介孔壳层的PS∕_MSiO_2复合磨料及其抛光氧化硅片效果

文件格式： PDF文档

文件大小： 1.5 MB

资源类别：冶金

关键词：硅片抛光制备放射复合

进入标准下载页面

本资源下载需 1 点

论文简介

设计与制备具有放射状介孔壳层的PS∕_MSiO_2复合磨料及其抛光氧化硅片效果

相关推荐