负偏压对磁控溅射TaN薄膜微观结构和性能的影响

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.65 MB
资源类别： 冶金
关键词： 薄膜   微观   性能   偏压   磁控溅射
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

负偏压对磁控溅射TaN薄膜微观结构和性能的影响
相关推荐