Nb-Si-N纳米复合薄膜表面吸附与迁移的第一性原理研究

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资源类别： 材料
关键词： 第一性   薄膜   吸附   复合   迁移
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Nb-Si-N纳米复合薄膜表面吸附与迁移的第一性原理研究
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