Si（111）衬底上HVPE GaN厚膜生长

文件格式： PDF文档

文件大小： 302.7 KB

资源类别：材料

关键词：生长衬底 Si 111 HVPE

进入标准下载页面

本资源下载需 1 点

论文简介

Si（111）衬底上HVPE GaN厚膜生长

相关推荐