低压化学气相沉积法生长 B 掺杂 ZnO 薄膜及其性能

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资源类别： 材料
关键词： 掺杂   薄膜   低压   沉积   性能
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低压化学气相沉积法生长 B 掺杂 ZnO 薄膜及其性能
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