倾斜磁控溅射低温沉积ZnO∶Al薄膜及其光电性能的研究

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资源类别： 材料
关键词： 薄膜   沉积   低温   倾斜   性能
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倾斜磁控溅射低温沉积ZnO∶Al薄膜及其光电性能的研究
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