分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展（一）：分子纳米层

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资源类别： 材料
关键词： 分子   阻挡   纳米   扩散   作为
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分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展（一）：分子纳米层
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