反应射频磁控溅射法制备HfTaO薄膜的热稳定性和光学性能

文件格式： PDF文档
文件大小： 683.19 KB
资源类别： 材料
关键词： 射频   薄膜   性能   法制   反应
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

反应射频磁控溅射法制备HfTaO薄膜的热稳定性和光学性能
相关推荐