基于SVR的脉冲激光沉积TiN／A1N多层薄膜的工艺优化

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资源类别： 材料
关键词： 脉冲   薄膜   沉积   多层   激光
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基于SVR的脉冲激光沉积TiN／A1N多层薄膜的工艺优化
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