基底负偏压对直流磁控溅射CrN薄膜择优取向及表面形貌的影响

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资源类别：材料

关键词：基底直流薄膜表面偏压

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基底负偏压对直流磁控溅射CrN薄膜择优取向及表面形貌的影响

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