多晶硅薄膜的铝诱导晶化法制备及其晶粒的择优取向特性

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资源类别： 材料
关键词： 薄膜   诱导   特性   及其   法制
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多晶硅薄膜的铝诱导晶化法制备及其晶粒的择优取向特性
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