多组分掺杂ZnO陶瓷薄膜的射频磁控溅射法制备及表征

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资源类别： 材料
关键词： 射频   表征   掺杂   薄膜   陶瓷
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多组分掺杂ZnO陶瓷薄膜的射频磁控溅射法制备及表征
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