富氮MeN_x（Me=Ti,Zr,Hf）薄膜的结构与红外光学性能

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资源类别：材料

关键词：薄膜性能结构光学红外

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富氮MeN_x（Me=Ti,Zr,Hf）薄膜的结构与红外光学性能

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