射频磁控溅射沉积高质量ZnO薄膜的工艺研究

文件格式： PDF文档
文件大小： 308.27 KB
资源类别： 材料
关键词： 射频   薄膜   沉积   工艺   磁控溅射
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

射频磁控溅射沉积高质量ZnO薄膜的工艺研究
相关推荐