射频磁控溅射法制备 TiSiCN 纳米复合膜的微观结构和力学性能研究

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资源类别： 材料
关键词： 射频   复合   微观   纳米   法制
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射频磁控溅射法制备 TiSiCN 纳米复合膜的微观结构和力学性能研究
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