工艺参数对电弧离子镀沉积铜薄膜微结构及性能的影响

文件格式： PDF文档
文件大小： 5.48 MB
资源类别： 材料
关键词： 电弧   薄膜   沉积   参数   性能
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

工艺参数对电弧离子镀沉积铜薄膜微结构及性能的影响
相关推荐