氢稀释比与衬底温度对硅基薄膜相变及其光电性能影响的研究

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资源类别： 材料
关键词： 稀释   薄膜   性能   及其   温度
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氢稀释比与衬底温度对硅基薄膜相变及其光电性能影响的研究
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