沉积气压对电弧离子镀制备MgO薄膜的结构及性能的影响

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资源类别： 材料
关键词： 电弧   制备   薄膜   气压   沉积
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沉积气压对电弧离子镀制备MgO薄膜的结构及性能的影响
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